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真空炉日常使用注意事项
对真空炉进行维修后，要进行烘炉、必须对真空炉进行真空检漏。真空炉烘炉前，可用1000V摇表检测真空炉的绝缘，正常不小于1000Ω。真空炉烘炉分三个阶段：①水分排出期0～200℃，是真空炉保温层中的水分和真空炉体中潮气的排出期，必须检查真空炉真空度，同时保温时间较长。②真空炉体放气量大的温度区一般在500℃左右，因真空炉放气量比较大，这时升温不超过50℃/h。保温时间一般在60分钟以上。③保温期1200℃左右，加热每升高100～200℃，要进行保温一段时间，升温过快易损坏保温层、真空炉放气不完全。
(1)编制真空炉使用维护操作规程，建立真空炉运行记录和修理档案，统计运行累积工作时间，加强真空炉日常维护，掌握设备技术状态变化趋势，及早发现故障损坏苗头，避免属于事故抢修性质的维修，并根据真空炉工作负荷和运行状况，提前有针对性地准备真空炉修理用零部件，编制真空炉运行维护方案。如真空炉加热元件的使用寿命长短与工作温度、真空炉内产品介质、产品数量及操作情况等许多因素有关，在每天24小时加工生产的情况下，真空炉加热元件和隔热屏的更换大约每两三年进行一次． 这取决于钎焊工作的类型和使用次数。真空炉一般在春秋季节泄漏故障较多，长期闲置的真空炉在才次使用时真空炉泄漏故障比较易发生。这时间就必须进行真空检漏，真空检漏一般采取每月一次测压升率:
1烘炉
在真空炉真空度不大于2.66Pa时，加热室通电烘炉：
a、由室温升温至300℃（参考时间30分钟），保温60分钟
b、继续升温至550℃（参考时间30分钟），保温60分钟
c、继续升温至800℃（参考时间30分钟），保温60分钟
d、继续升温至1100℃（参考时间30分钟），保温30分钟
e、继续升温至1300℃（参考时间30分钟），保温30分钟
注：炉子应缓慢升温，烘炉除气程序为参考程序，可根据实际情况重复上述过程。
2测极限真空度
真空炉温度降至50℃时，测量真空度应小于6*10-4Pa。
3测量压升率
炉子冷却至室温时，测量压升率，应小于6.4*10-4 Pa/h
压升率： △P＝（ P2—P1）×60／T（Pa／h）
式中：
P1：抽空至极限真空度，关闭阀15分钟后的真空度（Pa）
P2：P1之后一段时间间隔（30或60分钟）的真空度（Pa）
T：两次测量的时间间隔（min）
操作工应掌握设备泄漏变化趋势，如真空设备连续停机一个礼拜，要空运转一次（进行烘炉）。
在真空系统检漏时，除临时应急维修用真空泥糊堵外，有氦质谱检漏仪可用氦质谱检漏仪进行真空检漏，如没氦质谱检漏仪可用医用针管吸丙酮或乙醚射到所怀疑的漏点处，观察真空表读数有无变化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，进行检漏。找到漏点以后进行维修（一般密封圈老化比较多），定时检查真空炉的滑阀泵、罗茨泵、维持泵、扩散泵油，如发现油遇水乳化，真空下跌，必须更换上面4个泵油，应每周检查一次油位和油的质量。油扩散泵有积炭可用化学酸洗的方法清洗。
(2)真空炉维修好后的使用初期要经常进行检查，检查使用后的真空炉表温度和炉子实际温度是否一致(定期进行真空计、温控仪、热电偶、电压表、电流表的检定、校准工作），检查三相加热体是否存在过热损伤情况、温度不均或发白等现象。对于三相高温真空炉，以及真空电阻炉容量超过100kW时，每相、每一个加热区都应安装有电流表，发现真空炉温与仪表指示不正常，及时分析处理。
(3)不能超负荷使用真空炉，真空炉的最高使用温度是指元件在真空中允许的本身表面温度，并不是指加热物质的温度或加热元件周围的温度。要注意真空电热元件本身的温度一般比它周围的介质温度或被加热温度高100℃。
(4)要避免加热元件和产品发生反应，尤其是铜、铝、锌、锡、铅等与真空加热元件接触，无论是细粉、熔液或蒸汽等，防止在电加热体表面侵蚀形成“麻坑”，截面变小，最后过热而烧断。
(5)测量真空炉温均匀性时，应注意测温触点的定位捆绑方式，以及距加热元件的远近。真空炉内经常(至少每天或每班使用前)用毛刷、扫帚或压缩空气、吸尘器等清洁炉膛，要防止炉内氧化皮等杂质掉在电热元件上，发生短路，甚至烧坏钼加热棒。底板、钼加热棒、炉保温层等耐热钢构件每使用一段时间，应该进行清理，严禁敲击，可小心清除其氧化皮。氧化铁皮等杂质如不及时清除，就会熔融处与保温层发生打火，使钼丝熔化。
(6)真空炉子升温后，不能突然破坏真空系统，更不可打开真空炉炉门。注意充大气进去前,应关闭真空计开关,防止真空计老化。当温度高于400℃时，不得急剧冷却。对于真空加热元件在温度高、真空度不好以及冷热变化大情况下，容易引起氧化。对于钼加热炉，正常使用维护中注意应冷却至200℃以下方可停送保护氮气。 80℃以下才能打开炉门。
(7)冷却系统是真空炉的重要部分。冷却水路应保持畅透，否则水温升高造成停机。这是真空炉工作时常披忽视的问题 当无人管理时可能会导致真空炉的重大毁坏。用生物分解化学辅助方法处理冷却水，目的是保持矿物质呈悬浮态，减少橡皮管、蛇形管和水套内沉淀物累积， 以使水流畅通。这一般采用一种自动装置来完成，它可以监测水的导电性，自动补充化学剂，冲冼水路，添加新鲜水。与附属蒸气过滤系统配合，这种方法还可以保证水的pH 值控制， 防止在冷却水系统中多余矿物质沉积。在系统工作稳定后，至少应每月一次进行水质试验以防过处理或欠过理。真空炉外壳和热交换器材料的试验样品也应放在水路系统中，每年做一次重量损失检验以检查处理的效果。对扩散泵的蛇形管冷却器必须特别注意。应该经常检查。如果堵塞了，扩散泵将会过热并丧失功能，而且还进一步引起扩散泵加热器烧毁，造成昂贵的、费时的修理。当蛇形冷却水管堵塞时，将水路同水源断开，排水并用压缩空气吹通或用稀醋酸溶液冲洗。
(8)最关键是做好停电应急措施，控制柜应有电源急停装置。必须做好停电的预防措施！碰上突然停电时可用发电机抽冷却水,也可冲氮气冷却真空炉。防止真空炉因停电而超温损坏密封圈。真空炉的循环水系统严禁断水!冷却水的压力必须按照额定压力设备冷却水进口处压力：0.15～0.3MPa、流量约30m3/h。进水温度≤32℃、推荐用户主水泵配扬程约50m, 流量约30m3/h。需要水池及冷却塔。压缩空气源：0.4～0.8MPa、流量：1m3/h 。真空炉因为安装了水温、水压和流量继电器，当出现不正常情况时应能断电，并及时报警。
(9)、真空炉的真空抽气系统中配备与电源联锁的自动阀门，在发生停电事故时能够关断抽气管路，防止空气和真空泵油进入炉内。
真空钎焊炉加热元件的日常修理
1．加热元件的损坏
普通低温真空钎焊炉（铝真空钎焊炉）加热元件主要采用镍铬合金(如Cr20Ni80)，高温真空钎焊炉主要是钼质（石墨）加热元件。
(1))真空钎焊炉石墨加热元件损坏时，更换石墨加热元件局部损坏的部分。将损坏部分截掉，取一节和原尺寸相同的石墨更换，真空钎焊炉钼质加热元件损坏时，更换钼加热带局部损坏的部分。将损坏部分截掉，取一节和原尺寸相同的钼片，用2～3mm厚的钼片两面夹住，配打螺钉孔，再用钼螺钉拧紧。
在日常检查中发现钼片有变形、下坠、倒伏等现象时，可用喷灯烘烤使其变软，用外力恢复其应有形状及相关尺寸，再用钼丝吊起捆绑固定。
(2)钼合金的正常损坏，主要是氧化变细变脆、搭接短路、过烧或被介质侵蚀等现象。镍铬合金比铁铬铝合金使用寿命长，带状较丝状为长，连续工作比间断工作为长。
镍铬合金塑性好，拉拔、绕制容易，经高温加热也不易脆化，便于返修和焊接。铁铬铝合金电阻系数较大，电阻温度系数较小，与镍铬合金相比可节约材料，且功率稳定，耐热性能也较高，具有较强的抗渗碳和耐硫、耐各种碳氢气体的能力，只是加工性能稍差，拉拔、绕制比较困难，安装时在炉外调整合适，必要的弯曲和压缩应用气焊烤校；热膨胀系数较大(高温强度低和蠕变伸长大)，安装要留有余地；焊接时要尽量缩短时间，以缩短热影响区的长度。
2．真空钎焊炉加热元件的故障修理
真空钎焊炉钼加热体长时间使用以后会呈现变硬、收缩、下坠、先倒伏搭接、后熔断(融)等现象。为使真空炉加热丝在高温下存在必要的强度，防行硬化、倒塌或下垂，首先要设计真空炉加热丝的构造尺寸，如螺旋形电阻丝，要注意加热元件弯径、螺距和螺旋中径等。加热体快要松靠真空炉保温衬，在保温衬搁上95陶瓷件，恰当留有其膨胀空间。搁置位置要适合，一般在100～200mm一个，并能坚固钩住防止电阻丝趴上。此外应避免炉丝互相之间直接接触（短路），一般要垫隔离片。可用95瓷等耐高温资料作为的薄片隔离电阻丝，预防短路。尤其真空钎焊炉膛保温层与加热器之间的转换处通常留50mm空隙，用于电阻丝的转弯和装置)，要垫上瓷片，或炉丝套上瓷管(瓷管要底到尾)。
对呈现倒伏趋势的真空钎焊炉加热丝，可采用(架设电阻丝带的95瓷压住、塞紧)，并可用气焊或喷灯烘烤炉丝等使其变软，再复原其原有外形和尺寸，以及在炉丝中脱套瓷管(瓷管中可脱芯棒)等。也可使用两根瓷管，瓷管端头必须紧靠。
加热体对个别断头可直接焊补，对于倒塌严重，不能整直的，局部过烧部分损坏严重的，普通可采用换补一段的办法，无须因其中局部不及格就整套报废，要注意用于补焊的电阻丝的资料、直径、螺距及少度等要相符原技巧要供，新补的电阻丝不能有裂纹、锈蚀等缺点，要阻丝平匀。使用新的电阻丝时，电阻丝不能有显明的细细不均、氧化腐化、裂纹变形和嫩化变坚等现象。引出棒不能有严重的氧化和侵蚀现象。
3．焊接工作中的注意事项
电阻丝加热体的焊接与一般金属结构的焊接不同，它要求焊接接头部分能承受外力而不至折断。焊接方式主要用对焊和插合焊补，也可用钻孔焊、铣槽焊、对焊、搭焊等。焊前要清理合金表面的氧化皮、铁锈或其他污垢，用砂布将焊接部分的金属基体暴露出来。温度要掌握好，避免夹渣、气孔和焊不透等现象。更换合金元件较多时，焊好后要测量一下整个炉子的冷态电阻和三相电流平衡，进行适当调整，使其符合原设计要求。
修理镍铬合金时，首先将其折断以了解元件氧化情况。氧化严重时，银白色的铁芯很细，补焊时容易烧断，即使勉强补焊，也使用不了多久；氧化不太严重，可用搭接法；如还比较新，可用对接法。一般多用气焊，镍铬电阻丝作焊丝。采用对接法时，要用中性焰，火焰体积要小，焰心要直，热量要集中；采用搭接焊法时，搭接长度，电阻丝不小于直径的10倍；电阻带不小于带宽1倍。镍铬合金元件与引出棒之间的焊接采用搭焊或对焊。加热过的铁铬铝合金不允许在冷态下弯曲、拉伸或剧烈振动，若需整形或展开螺距必须加热至暗樱红色进行。用电弧焊，焊条用稀土铁铬铝焊条，采用插合补焊和间断式焊接方法，以控制其受热范围和过热程度。也可用铣槽焊、钻孔焊和铣槽冷焊方法。铁铬铝合金元件与引出棒之间一般用钻孔焊。
如果电阻丝加热体中间会有一两块断裂或不绝缘，可用一根直的电阻丝，跨过断裂或不绝缘的炉丝搁砖，直接焊接，会造成该组炉丝电阻小，工作时从外观看，就比其他炉丝红，使用寿命变短。可采用在新换的炉丝中穿套瓷管，瓷棒(瓷管穿芯棒)垫起悬空，架在两搁砖间，象架桥一样，采用跨过的方法或在不绝缘搁砖上垫瓷片的方法，这样不改变真空钎焊炉丝原有参数。
真空钎焊炉日常应该检查电极引出棒与线夹子应接触良好，引出棒与夹子接触而应光滑。引出棒不能有发热现象，供电时线夹子的升温最高不超过60℃。注意由于升温停炉时的热胀冷缩以及蠕变伸长等，引出棒接线夹子的螺栓容易发生氧化松动，形成虚接短路，要定期（每个月）检查并拧紧。
真空计的维护与保养 ：
1、 按照PLC程序抽低真空：紧闭所有的真空阀门，启动机械泵，待其运行正常后（大约1-2 min），打开通向炉体的低真空阀即上碟阀，预先对炉体抽低真空。
2、 按照PLC程序抽高真空：打开下碟阀，对扩散泵进行抽气，当真空度达到15 Pa以下后，系统自动开启扩散泵进行预热，一般经过45 min左右扩散泵开始其作用，就可以关闭上碟阀，同时开启主阻挡阀待真空度达到1.33×10Pa以上，才可以开启加热按钮对样品进行加热。
A：真空计有两个量程表，低真空量程1.0×10-1.0×10；高真空量程1.0×10-1.0×10,一般在2Pa开始转换量程。注意充大气进去前，应关闭真空计开关，防止真空计老化。真空计的检定周期为1年。 炉子不用时一般处于真空状态！真空炉冷却水100℃以下才可停止冷却水泵
真空钎焊炉热电偶常见故障及处理
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故障现象 |
可能原因 |
处理方法 |
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热电势比实际值小（显示仪表指示值偏低） |
热电极短路 |
找出短路原因，如因潮湿所致，则需进行干燥；如因绝缘子损坏所致，则需更换绝缘子 |
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热电偶的接线柱处积灰，造成短路 |
清扫积灰 |
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补偿导线线间短路 |
找出短路点，加强绝缘或更换补偿导线 |
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热电偶热电极变质 |
在长度允许的发问下，剪去变质段重新焊接，或更换新热电偶 |
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补偿导线与热电偶极性接反 |
重新接正确 |
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补偿导线与热电偶不配套 |
更换相配套的补偿导线 |
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热电偶安装位置不录或插入深度不符合要求 |
重新按规定安装 |
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热电偶冷端温度补偿不符合要求 |
调整冷端补偿器 |
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热电偶与显示仪表不配套 |
更抽热电偶或显示仪表使之相配套 |
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热电势比实际值大（显示仪表指示值偏高） |
热电偶与显示仪表不配套 |
更抽热电偶或显示仪表使之相配套 |
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补偿导线与热电偶不配套 |
更换补偿导线使之相配套 |
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有直流干扰信号进入 |
排除直流干扰 |
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热电势输出不稳定 |
热电偶接线柱与热电极接触不良 |
将接线柱螺丝拧紧 |
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热电偶测量线路绝缘破损，引起断续短路或接地 |
找出故障点，修复绝缘 |
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热电偶安装不牢或外部震动 |
紧固热电偶，消除震动或采取减震措施 |
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热电极将断未断 |
修复或更换热电偶 |
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外界干扰（交流漏电，电磁场感应等） |
查出干扰源，采用屏蔽措施 |
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热电偶热电势误差大 |
热电极变质 |
更换热电极 |
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热电偶安装位置不当 |
改变安装位置 |
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保护管表面积灰 |
清除积灰 |
注意事项
1工件需经清洗干燥后，方可进入炉内，防止水份污物进入炉内；
2转动件发现卡位、控制失灵等现象时，应立即排除，不要强行操
作，以免损伤机件；
3严格按操作规程及主要外购件进行操作，不准随意按动按钮，拨
动开关，非正式操作人员严禁操作；
4不使用真空炉时，关闭炉盖，将其抽成真空状态进行保存。
真空钎焊炉维护与保养
1经常检查炉子各组成部分是否清洁，是否符合真空卫生要求；
2经常检查各电接头是否接地良好；
3经常测量绝缘电阻应大于1000欧；
4真空机组各泵的操作维修和保养按其说明书进行；
5仪器仪表等按产品说明书定期校验、维修；
6炉体内部及真空管路应保持清洁，如有灰尘，要用酒精、汽油、
四氯化碳等浸湿绸布，擦干净并经过充分干燥后，才能开炉；
7炉子工作过程中出现故障应首先切断电源；
8停炉后炉内应保持真空状态。
9滑阀泵的抽真空，当真空度低于200Pa时，启动罗茨泵
旋片式真空泵操作规程
1．查看油位，以停泵时注油至油标中心为宜。过低对排气阀不能起油封作用，影响真空度。过高，可能会引起通大气起动时喷油。运转时，油位有所升高，属正常现象。油采用规定牌号的清洁真空泵油，从加油, 孔加入。加油完毕后，应旋一下螺塞。, 油宜经过滤，, , 以免杂物进入，堵塞油孔。
2．旋片式真空泵可在通大气或任何真空度下一次起动。泵口如装接电磁阀，应与泵同时动作。
3．环境温度过高时，旋片式真空泵油的温度升高，粘度下降，饱和蒸汽压会增大，将引起极限真空有所下降，此时应加强通风散热，或改善旋片式真空泵油的性能，极限真空可得到改善。
4．检查旋片式真空泵的极限真空以真空钎焊炉电阻真空计为准，如电阻真空计经充分预抽并且经过校验，泵温达到稳定，泵口与电阻真空计直接接通，运转30分钟内，将达到极限真空。电阻真空计测得之值与泵油和电阻真空计、规管误差有关，有时误差甚至可很大，只能作参考。
5．如相对湿度较高，或被抽气体含较多可凝性蒸汽，接通被抽容器后，应该打开气镇阀，运转20～40分钟后关闭气镇阀。停泵前，可开气镇阀空载运动30分钟，以延长泵油寿命。
6．旋片式真空泵用油选择：泵油的粘度影响起动功率和泵的极限真空，粘度高时对真空度有利，起动功率则大一些。油在泵温下的饱和蒸汽压则会影响旋片式真空泵的极限总压强，越低越好。高速真空泵油和3#扩散泵油的粘度较1号真空泵油大，饱和蒸汽压较1号真空泵油低，但3#扩散泵油价格较高。具体选什么旋片式真空泵油，可根据上述介绍结合具体使用要求来选择。
(1)一般情况下，凡希望总压强在6X10-2帕以上的应用上海产的高速真空泵油。4升/秒以下小泵也可用1号真空油泵代，8升/秒以上直联泵可用3#扩散泵油代。
(2)如果对真空度要求不高，且油的污染更换频繁，真空泵油供应困难，可采用50号机械油代替。
(3)如果环境温度低，起动困难，极限真空要求不高，可采用粘度较上略低的真空泵油或机械油。
旋片式真空泵维护和保养
一、注意事项：
1．保证旋片式真空泵的清洁，防止杂物进入泵内。
2．保持旋片式真空泵油位。
3．存放下当水份或其它挥发性物质进入泵内而影响极限真空时，可开气镇阀净化之，观察极限真空回升情况，数小时无效，应更换泵油，必要时可再次更换。换油方法：泵运转约半小时，使油变稀，停泵从放油孔放油，再敞开进气口运转10～20秒钟，此间可从吸气口缓缓加入少量清洁泵油，以更换泵腔内存油。如出来的油很脏，后者可重复进行。
4．旋片式真空泵不可混入柴油、汽油等其它饱和蒸汽压较大的油类，以免降低极限真空。拆洗泵内零件时，一般用纱布擦拭即可以。金属碎屑、砂泥或其它有害物质必须清洗时，可用汽油等擦洗，干燥后方可装配，切忌用汽油浸泡。
5．倘若因泵需拆开清洗或检修，必须注意拆装步骤，以免损坏机件。
二、旋片式真空泵拆装步骤简述如下：
(一)、拆卸：
1．放油
2．松开进气咀法兰螺钉，拔出进气咀，松开气镇法兰螺钉，拔出气镇阀。
3．拆下油箱。
4．拆除止回阀开口销，拆下止回阀叶轮。
5．拆除支座与泵的连接螺钉，拆下泵部装件，电机拆否视方便而定。
6．松开泵盖螺钉，拆下泵盖，拉出二转子及旋片。拆下低级转子时，麻先拆下开口销。
(二)、旋片式真空泵装配：
1．用纱布擦净零件，防止回丝堵塞油孔，最好用清洗液和刷子清洗。
2．把旋片装入转子槽内后，把高级转子装入定子即泉身内，装L高级泵盖、销、螺钉、键、联轴节，用手旋转，应无泄阻和明显轻重，装时应使定子顶面朝下，以借助重力使转子贴近定子圆弧面，此间隙最好在0．01mm。
3．低级转子装配方法同上。
4．装上止回阀叶轮等止回零件，应使止回阀头平面对准进油咀油孔，按工作时的转向旋转转子并用手轻轻反向挡住叶轮，油孔应时开时闭，调整阀头平面最大开启高度为0．8～1．2毫米，具体可移动止回阀座、橡胶止回阀头在阀杆孔中的位置来实现。简便查法：面对叶轮，使Φ3mm传动销处于右手水平位置，顺时针方向拨动叶轮，此时止回阀头平面的开启高度近于最大，应为0．8～1．2mm。转子停止在任何位置，手从叶轮上松开后，止回阀头应自动落下关闭油孔。
5．装上旋片式真空泵部的排气阀、挡油板等零件。
6．把泵部、键、联轴节、电机装在支座上。
7．装油箱。
8．插入进气咀，气镇阀，装上法兰固紧。
注意：
装配时磨擦面涂上清洁真空泵油。
记住零件原装配位置，可减少摩合时间。紧固件应无松动，保证装配间隙。
检查旋片式真空泵有无较大的噪音、杂音、漏油。
罗茨泵操作规程
一、目的
为了使操作者正确操作使用,确保罗茨泵的正常工作。
二、适用范围
所有真空钎焊炉罗茨泵及操作者.
三、罗茨真空泵操作规范
(一)、罗茨真空泵启动前的准备工作
1、检查工作电源,工作电压是否达到要求;
2、检查电机运转方向,确认无误后方可投入使用;
3、检查罗茨真空泵的冷却水是否畅通;
4、检查泵的油位,出轴处的油杯内注满润滑油,齿轮箱及轴承箱内的润滑油的油位须在油窗的3/4高度处,润滑油用1号(粘度为46)真空泵油;
(二)、罗茨真空泵启动运行
1、起动前级泵： 旋片式真空泵(罗茨泵不允许直接抽大气);
2、待系统内的压力达到罗茨真空泵的允许入口压力后(1330Pa),即可启动罗茨泵真空泵
3、罗茨真空泵的最高温升不得超过40℃,最高温度不得超过80℃;
(三)、停罗茨真空泵
1、先停罗茨真空泵,且停稳后再停前级旋片式真空泵;
2、关闭冷却水;(长时间不用,应将泵壳余水放尽)
四、维护与保养, , , , , , , , , , , 1&, amp;, amp;, amp;, amp;, amp;, amp;, amp;, lt;, ;,, /, SP, AN>、每日检查
(1)油位检查:检查油杯、齿轮箱、轴承箱内得油位,理想的油位高度以油窗的3/4为宜,齿轮箱和轴承箱的油位过多,使油位升高,油位过低造成润滑不良,有的可能发出噪音;
(2)温度检查:用温度计检查各部位温度;
(3)电机负荷检查:用钳形表测量电动机负荷;
(4)检查罗茨真空泵两端轴承有无异常
2、每月检查
联轴器弹性体或三角胶带的张力;
3、每季检查
齿轮箱内润滑油是否变质;
4、每半年检查
(1)前盖轴承箱内润滑油是否变质;
(2)油封是否损坏;
5、每一年检查
(1)轴承是否磨损;
(2)活塞环及活塞环衬套是否磨损;
(3)齿轮微量程度的磨损对转子正常工作是否产生影响是否需要调整;
6、拆装罗茨真空泵
(1)、未拆卸前,先测量并记录转子各部分间隙;
(2)、尽量避免用重锤敲打,拆下的零件不得碰伤,妥善保管好;
(3)、将需要更换得零部件的更换原因及使用情况详细记录下来;
(4)、重新装配前须把各零部件清洗干净,毛刷修光;
(5)、无密封垫或密封圈的静密封面用"106"有机硅胶涂料密封,用于静密封得橡胶密封件需涂上真空考克脂;
(6)、根据间隙一览表调整转子各部间隙;
(7)、全部装好后须进行检漏;
(8)、重新装配后须进行试运转和必要的性能测试,待正常后才能安装使用;
五、罗茨真空泵的一般常见故障排除
1、极限压力达不到
(1)管道、系统漏气:系统检漏;
(2)泵部分漏气:对泵检漏;
(3)前级泵极限压力下降:修理或更换前级泵;
(4)润滑油太脏或牌号不对:调换润滑油
(5)油封磨损:调换油封;
2、抽速不足
(1)管道通道能力不够:增大管道通道能力;
(2)前级泵抽速下降:修理或更换前级泵;
3、电动机过载
(1)入口压力过高:调速控制入口压力;
(2)转子端面与端盖端面接触:调整转子端面间隙;
(3)前级泵返油至罗茨真空泵泵腔:装置防返油设备;
4、过热
(1)选择的前级泵抽速不够造成压缩比过大:重新选用前级泵;
(2)入口压力过高:调整、控制入口压力;
(3)冷却不良:畅通、加大冷却水;
(4)齿轮箱润滑油过多:调整油量;
(5)转子与泵壳接触:修整;
(6)齿轮、轴承、油封润滑不够:保证油量适当,润滑良好
1、 设备常规维护：
包括真空泵油的更换、加热室易损件、绝缘件的更换、真空炉主体的磨损件的更换等等
2、 设备故障检修：
㈡ 包括真空泵的检修、更换及为用户提供参考厂家
㈡加热室的检修。
真空炉FP23编程使用说明书
一、进入编程窗口 显示 PIN PROGRAM
01 按PIN键选择所需曲线号
按SCRN键 显示 PIN Num of STEP 10 设定所需的段数
Start STEP 1 设定从哪一段开始（通常为1）
按SCRN键 显示 PIN START SV XXX℃ 设定初始温度（通常为室温）
PIN REPS 1 重复次数（通常为1）
按SCRN键 显示 PIN LOOP STEP
01 START：1 下面三个值均为1
END：1
REPS：1
按SCRN键 显示 PIN GUArantee soak
Zone 5.1℃ 自动确保平台温度（通常为5℃）
Time： 00H00M 自动确保平台时间（值为00H00M）
PV START：ON 从测量值开始升温
按SCRN键 显示 PIN EV Set point
01 EV1 HA 1280℃ 超温报警温度此值不能超过1280℃
EV2 HA xxX℃ 分压温度，根据实际需要设定
按SCRN键 显示PIN PROGRAM&am, p;nb, sp;&, amp;, amp;nb, sp;&, amp;, amp;nb, sp;&, amp;, nbsp;, ;, ;&am, p;nb, sp;&, amp;, nbsp;, ;, ;&, nbsp;, ;, ;&am, p;nb, sp;,, , , , , &n, bsp;, ;<, /SP, AN>, 编辑曲线, 初始窗, 口,
01
按SCRN键 显示 PIN STEP
01 SV TIME PID TS
STEP NO 1 进入设定曲线状态
按SCRN键 显示 PIN
01 SV XXXX℃ 该段温度设定值
STEP TIME xxHXXM 该段所需时间
001 PID 00 第一段PID组别 （为0）
按STEP键 显示 PIN
01 SV XXXX℃ 该段温度设定值
STEP TIME xxHXXM 该段所需时间
002 PID 00 第二段PID组别 （为0）
按STEP键 显示 PIN
01 SV XXXX℃ 该段温度设定值
STEP TIME xxHXXM 该段所需时间
003 PID 00 第三段PID组别 （为0）
按STEP键 显示 PIN
01 SV XXXX℃ 该段温度设定值
STEP TIME xxHXXM 该段所需时间
004 PID 00 第四段PID组别 （为0）
按STEP键 显示 PIN
01 SV XXXX℃ 该段温度设定值
STEP TIME xxHXXM 该段所需时间
005 PID 00 第五段PID组别 （为0）
按STEP键 显示 PIN
01 SV XXXX℃ 该段温度设定值
STEP TIME xxHXXM 该段所需时间
006 PID 00 第六段PID组别 （为0）
按STEP键 显示 PIN
01 SV XXXX℃ 该段温度设定值
STEP TIME xxHXXM 该段所需时间
007 PID 00 第七段PID组别 （为0）
按STEP键 显示 PIN
01 SV XXXX℃ 该段温度设定值
STEP TIME xxHXXM 该段所需时间
008 PID 00 第八段PID组别 （为0）
按STEP键 显示 PIN
01 SV XXXX℃ 该段温度设定值
STEP TIME xxHXXM 该段所需时间
009 PID 00 第九段PID组别 （为0）
按STEP键 显示 PIN
01 SV XXXX℃ 该段温度设定值
STEP TIME xxHXXM 该段所需时间
010 PID 00 第十段PID组别 （为0）
如仍有更多段时，方法同上，依次输入相应温度和时间值
到最后一段时 按SCRN键 此为设定冷却信号
显示 PIN
01 TIME SINGAL 1 第一个时间信号
STEP ON TIME 00H00M 将时间改为00H00M（必须为此值）
STEP OFF ITME OFF 值为OFF（必须为此值）
XXX 此处显示为最后冷却的段号
当不是最后的冷却段号时均为 OFF
DISP 为返, 回键<, SPAN , l, 14pt? ?FONT-S: ang="EN-US">, , &, amp;, ;nb, sp;&nb, sp;, ; , ;&, nbsp;, ; 不论在任, 何窗口按此键, 时，就会返回, 初始窗口
FILE 为菜单切换键 在不同窗口进行循环切换
SCRN 在该菜单下，进入此菜单下的子菜单
← 为光标上下切换键，使在同一窗口下的各个功能行内切换
＜ 为光标左右移动键，使其在各个位上移动
△：为数值增加键； ▽：为数值减少键
ENT：为确认键 各个数值更改后应按此键确认
DISP+ENT：两键现时按下时程序开始运行，在程序运行时同时按下，程序停止。
东俊真空钎焊工作室
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