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选择真空泵的注意事项

作者：蔡东俊人气：15726 日期：2020-09-19 12:55:03

选择真空泵的注意事项

真空钎焊炉在选用真空泵时，需要注意下列事项：

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：铝合金真空钎焊硬质合金真空钎焊、钛合金真空钎焊真空度要求1×10-4pa的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6oa。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。

3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

9、真空泵的价格、运转及维修费用。

水环式真空泵的选择

一、泵类型的确定

泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。

泵工作时，需要注意以下两个方面：

1.尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。

2.应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。

如果只作真空泵用，则选用单作用泵比较好。因为单作用泵的构造简单，容易制造和维护，且在高真空情况下抗汽蚀性好。

如果仅作较大气量的压缩机使用，则选用双作用的泵比较合适。因为双作用泵的气量大，体积小，重量轻，径向力能得到自动平衡，轴不容易产生疲劳断裂，泵的使用寿命较长。

二、根据系统所需的气量选择真空泵

初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。

抽气速率单位换算表

真空常用数据及单位换算

1、真空区域划分	2、长度：公制-英制对照表
3、重量：公斤-磅-央士对照表	4、各种真空计及规管对照表
5、绝对温度、摄氏、华氏温度对照表	6、抽气速率单位换算表
7、各种水的电阻率(欧姆)	8、20℃空气在不同压强下的分子平均自由程
9、常用压强单位换算表	10、不同压强下空气分子密度
11、真空油脂的主要性能	12、力单位的换算
13、功率单位换算	14、真空封膏特性
15、各种橡胶特性表	16、面积单位换算
17、容积单位换算	18、1号真空机械泵油的主要性能指标
19、国产扩散泵油性能指标	20、真空泵的种类及其工作范围
21、水在各种温度下的饱合蒸气压	22、一些物质的熔点、熔解热、沸点和汽化热

1、真空区域划分

真空区域	压强范围
真空区域	托(Torr)	帕(Pa)
低真空	760~10	101325~1333
中真空	10~10-3	1333~1.33×10-1
高真空	10-3~10-8	1.33×10-1~10-6
超高真空	10-8~10-12	10-6~10-10
极高真空	＜10-12	＜10-10

2、长度：公制-英制对照表

单位	米(m)	英尺(ft)	英寸(in)
1米(1m)	1	3.28	39.37
1英尺(1ft)	0.305	1	8.33
1英寸	0.0254	12	1

3、重量：公斤-磅-央士对照表

单位	公斤(kg)	英磅(Ib)	央士(oz)
1公斤	1	2.2	35.27
1磅	0.45	1	16
1央士	0.03	0.06	1

4、各种真空计及规管对照表

真空计名称	电阻真空计	热偶真空计	1.热阴极电离真空计 2.压强自动控制仪	冷阴极碰控真空计	中真空计	超高真空计
规管名称	电阻规管	热偶规管	电离规管	冷阴极规管	中真空规管	B-A规管
规管型号	ZJ-52T	ZJ-51(DL-3) ZJ-53	ZJ-27(DL-9) ZJ-2(DL-2) ZJ-10(DL-5)	M014	DL-5 DL-8	ZJ-32 ZJ-32BC ZJ-12

5、绝对温度、摄氏、华氏温度对照表

温度形式	K(绝对温度)	℃(摄氏)	°F(华氏)
K(绝对温度)	1	℃+273.15	5/9(°F+459.67)
℃(摄氏)	K-273.15	1	5/9(°F-32)
°F(华氏)	9/5(K-459.67)	9/5(℃+32)	1

6、抽气速率单位换算表

单位	立方米/秒(m3/s)	升/秒(L/s)	立方米/小时	立方英尺/分
1立方米/秒(1m3/s)	1	1000	3600	2118.88
1升/秒(1L/s)	10-3	1	3.6	2.119
1立方米/小时(1m3/h)	2.78×10-4	0.278	1	0.59
1立方英尺/分(1cft/min)	4.72×10-4	0.47	1.69	1

7、各种水的电阻率(欧姆)

水	海水	劣质自来水	优质自来水	蒸馏水	超净水
电阻率	10~10-2	103	104~105	106	107~108

8、20℃空气在不同压强下的分子平均自由程

P(托)	1	10-3	10-4	10-5	10-6	10-9
λ(厘米)	4.72×10-3	4.72	47.2	472	4720	4.72×106

9、常用压强单位换算表

?	帕 Pa	托 Torr	微米汞柱 μmHg	微巴 μbar	毫巴 mbar	大气压 atm	工程大气压 am	英寸汞柱 inHg	磅/英寸2 lb/in2
1 Pa	1	7.5 ×, 10-3,/P>	7.5	10	10-2	9.86923 ×10-6	1.0197 ×105	2.953 ×10-4	1.450 ×10-4
1 Torr	133.32	1	103	1333.2	1.3332	1.31579 ×10-3	1.3595 ×10-3	3.937 ×10-2	1.934 ×10-2
1 μmHg	0.13332	10-3	1	1.3332	1.3332 ×10-3	1.31579 ×10-6	1.3595 ×10-6	3.937 ×10-5	1.934 ×10-5
1 μbar	10-1	7.5 ×10-4	7.5 ×10-1	1	10-3	9.86923 ×10-7	1.0197 ×10-6	2.953 ×10-5	1.450 ×10-5
1 mbar	102	7.5 ×10-1	7.5 ×102	103	1	9.86923 ×10-4	1.0197 ×10-3	2.953 ×10-2	1.450 ×10-2
1 atm	101325	760	760×103	1013.25 ×103	1013.25	1	1.0333	29.921	14.696
1 am	98066.3	735.56	735.56 ×103	980663	980663 ×10-3	0.967839	1	28.959	14.223
1 inHg	3386	25.4	25.4×103	3.386×104	33.86	3.342 ×10-2	3.453 ×10-2	1	4.912 ×10-1
1 lb/in2	6895	51.715	51.715 ×103	6.895×104	68.95	6.805 ×10-2	7.031 ×10-2	2.086	1

10、不同压强下空气分子密度

P(托)	1	10-3	10-4	10-5	10-6	10-9
n0(个/厘米3)	4×1016	4×1013	4×1012	4×1011	4×1010	4×107

11、真空油脂的主要性能

名称　　

成分　　

20℃时饱和蒸气压(托)

最高使用温度(℃)

2#

高分子碳　　

3.1×10-8

30

3#

氧化合物　　

10-9

35

4#

皂基脂　　

10-7~10-8

130

7501

硅油加硅粉　　

10-6以下　　

-40~+200

12、力单位的换算

达因(Dyn)	牛顿(N)	斯坦	公斤力(kgf)
1	10-5	10-8	1.02×10-6

13、功率单位换算

单位	马力	千瓦	瓦
马力(PS)	1	0.735	735
千瓦(kW）	1.36	1	1000
瓦(W)	1.36	0.001	1

14、真空封膏特性

真空脂名称	真空封脂		真空封泥
真空脂名称	50＃	80＃	30＃
温度	50℃	80℃	30℃
?	10-7~10-8托	10-7~10-8托	5×10-4托

15、各种橡胶特性表

橡胶种类	天然橡胶	丁基橡胶	丁腈橡胶	氟橡胶
特性1	耐水性，耐酸性，耐碱性良好	渗透率小	耐油良好	23型耐强酸
特性2	出气量较大	升华严重	弹性较好	26型渗透率低出气率小
真空范围	1×10－5托	10－7托	10－8托	10-8托
温度	－30~80℃	－30~150℃	－30~120℃	-20~200℃

16、面积单位换算

平方米(m2)	平方厘米(cm2)	平方毫米(mm2)	平方市尺(sc2)	平方英尺(ft2)	平方英寸(in2)
1	10000	1000000	9	10.7639	1550

17、容积单位换算

立方米	升	立方市尺	英加仑	美加仑(液体)	立方英尺	立方英寸	日升
1	1000	27	219.98	264.18	35.3147	0.06103	554.37

18、1号真空机械泵油的主要性能指标

项目	运动粘离(厘泊)	闪点(℃)	饱和蒸汽压20℃时(托)	比重(克/厘米3)	分子量(克)
KK-1	50℃时(47~57) 100℃时(8~11)	不低于15	不高于4×10-5	0.86	333

19、国产扩散泵油性能指标

牌号	1#	2#	3#	274硅油	275硅油
饱和蒸气压(托)20℃不大于	4×10-8	2×10-8	2×10-8	2×10-8	1.7×10-8
运动粘度(厘泊)	45~60	55~65	68~80	38±3	165±20
凝固点(℃)不高于	-15	-15	-15	-10	-14~-18
闪点(℃)不低于	230	230	230	＞210	＞243
比重(克/厘米2)				1.05~1.08	1.09±0.02

20、真空泵的种类及其工作范围

真空泵	工作范围(托)	真空泵	工作范围(托)
旋片真空泵	760~5×10-4	往复真空泵	760~10-2
滑阀真空泵	760~5×10-3	吸附泵	760~10-4
油增压泵	10-1~10-4	溅射离子泵	10-4~10-10
罗茨真空泵	10-1~10-4	钛升华泵	10-3~10-10
油扩散泵	10-3~5×10-7	分子泵	10-3~10-10
水环真空泵	760~25	低温泵	10-3~10-10

21、水在各种温度下的饱合蒸气压

温度	压力		温度 , , , , &a, mp;a, mp;a, mp;a, mp;a, mp;l, t;, /S, , AN, P,>&, lt;, /,, , ,, P,>, , , , , , , , , , <, /SPA, N><, /TD>, 压力
℃	Pa	Torr		℃	Pa	Torr
-13	225.4	1.691		-10	386.5	2.149
-7	361.9	2.715		-3	489.6	3.673
0	610.4	4.579		3	757.8	5.685
7	1001	7.513		10	1228	9.209
13	1497	11.23		17	1937	14.53
20	2337	17.54		23	2808	21.07
27	3564	26.74		30	4242	31.82
33	5029	37.73		37	6274	47.07
40	7378	55.32		43	8638	64.80
47	10610	79.60		50	12330	92.51
53	14290	107.2		57	17310	129.8
60	19910	149.4		63	22840	171.4
67	27320	205.0		73	35420	265.7
77	41870	314.1		83	53400	400.6
87	62480	468.7		93	78460	588.6
97	90920	682.1		100	101325	760.0
101	104980	787.6

22、一些物质的熔点、熔解热、沸点和汽化热

物质	熔点（℃）	熔解热（Cal/g)	沸点（℃）	汽化热（Cal/g）
酒精	-114	23.54	78	204
二硫化碳	-112	45.3	46.25	84
氨	-77.7	81.3	-33	327
松节油	-10	80	160	-
冰	0	80	100	539
萘	80	33	218	50.5
生铁	1100~1200	8	2450	93
一氧化碳	-200	46.68	-190	263
醋酸	16.6	16.4	118.3	104
甲醇	-97.1	20.95	64.7	94
苯胺	-6.24	30.24	184.3	124
苯	5.48	－	82.2	－
丙酮	-96.5	－	56.1	－

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